Silikon Aşındırma Halkaları

Silikon aşındırma halkaları, CCP/ICP aşındırma ekipmanının plazma aşındırma bölmesi içindeki temel bileşenlerdir ve tipik olarak yarı iletken levhanın etrafına yerleştirilir. Başlıca işlevleri yarı iletken levhayı desteklemek, düzgün plazma dağılımını sürdürmek, levha kenarını korumak ve böylece plazma aşındırma işlemi için en uygun çalışma koşullarını oluşturmaya yardımcı olmaktır.

Semicorex silikon aşındırma halkalarının avantajları

1. Birinci sınıf malzeme seçimi

Semicorex silikon aşındırma halkaları özenle seçilmiş yüksek saflıkta MCZ'den üretilmiştir.monokristalin silikonGeleneksel CZ monokristal silikona göre aşağıdaki mükemmel özellikleri sunar.

Yüksek saflık: Saflık %99,9999999'un üzerindedir; bu, Semicorex silikon aşındırma halkalarının neredeyse hiç yabancı madde içermediği anlamına gelir. Bu ultra yüksek saflık, aşındırma işlemi sırasında bileşen yabancı maddelerinden kaynaklanan girişimi etkili bir şekilde önleyebilir, böylece yüksek aşındırma hassasiyetini garanti edebilir.

Kararlı yapı: MCZ monokristal silikon, geleneksel CZ monokristal silikondan daha düşük kusurlu, üstün bir kristal yapıya sahiptir. Bu stabil kristal yapı, Semicorex silikon aşındırma halkalarına plazma korozyonuna karşı gelişmiş korozyon direnci kazandırır ve sert aşındırma çalışma koşullarına dayanmalarını sağlar.

Mükemmel direnç eşitliği:Semicorex silikon aşındırma halkalarıRRG < %5 ile olağanüstü direnç bütünlüğü sağlar. Düşük Çözünürlük (<0,02 Ω·cm), Orta Çöz. (0,2–25 Ω·cm), Yüksek Çözünürlük. (>100 Ω·cm). Bu mükemmel direnç eşitliği, aşırı yüksek veya düşük direncin neden olduğu düzensiz plazma dağılımını en aza indirebilir ve bu da yüksek hassasiyetli plazma aşındırma için ideal bir elektrik alanına katkıda bulunur.

2. Hassas işleme ve sıkı kalite kontrolü

Semicorex, değerli müşterilerimize kişiselleştirilmiş kişiselleştirme ve teknik değerlendirmeler sunabilen deneyimli bir teknik ekibe sahiptir ve aynı zamanda ürün kalitesini garanti etmek için sistematik işleme ve denetim prosedürleri oluşturmuştur.

Esnek kişiselleştirme hizmetleri: Semicorex, müşteri çizimlerine göre özelleştirmeyi destekler ve silikon gravür halkalarının maksimum özel çapı 470 mm'ye kadar olabilir.

Yüksek standartta yüzey işleme: Parlatma hassasiyeti Ra < 0,1 µm dahilinde sıkı bir şekilde kontrol edilebilir ve ince taşlama, Ra > 0,1 µm yüzey kalitesine ulaşır.

Sıkı kalite denetimi: Silikon aşındırma halkalarının talaş, çizik, çatlak, leke ve diğer kusurlardan arınmış olmasını sağlamak için boyut ölçümü, direnç testi ve görsel inceleme yapılacaktır.