Fabrikamızdan MOCVD Ekipmanı için Yarı İletken Wafer Taşıyıcıyı satın alacağınızdan emin olabilirsiniz. Yarı iletken plaka taşıyıcıları MOCVD ekipmanının önemli bir bileşenidir. Üretim süreci sırasında yarı iletken levhaları taşımak ve korumak için kullanılırlar. MOCVD Ekipmanı için Yarı İletken Plaka Taşıyıcıları yüksek saflıkta malzemelerden yapılmıştır ve işleme sırasında plakaların bütünlüğünü koruyacak şekilde tasarlanmıştır.
MOCVD Ekipmanı için Yarı İletken Plaka Taşıyıcımız, yarı iletken üretim sürecinin önemli bir bileşenidir. CVD yöntemiyle silisyum karbür kaplamalı yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır ve birden fazla levhayı barındıracak şekilde tasarlanmıştır. Taşıyıcı, daha iyi verim, daha fazla üretkenlik, daha az kirlenme, daha fazla güvenlik ve maliyet etkinliği gibi çeşitli avantajlar sunar. MOCVD Ekipmanı için güvenilir ve yüksek kaliteli bir Yarı İletken Plaka Taşıyıcı arıyorsanız, ürünümüz mükemmel çözümdür.
MOCVD Ekipmanına yönelik Yarı İletken Plaka Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
MOCVD Ekipmanı için Yarı İletken Plaka Taşıyıcısının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin