Üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği ile Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplamalı Namlu Süseptör, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda kullanım için ideal seçimdir. Yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış bu grafit ürün, mükemmel koruma ve ısı dağılımı sağlayarak yarı iletken üretim uygulamalarında güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplamalı Namlu Süseptör, mükemmel termal iletkenlik ve ısı dağıtım özellikleri sayesinde yarı iletken levhalar üzerinde epiksiyal katman oluşumu için mükemmel seçimdir. Silisyum karbür kaplaması, en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile üstün koruma sağlar.
Semicorex olarak müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı Namlu Askımız fiyat avantajına sahiptir ve birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kalitede ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplı Namlu Süseptör Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplı Namlu Süseptörünün Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.