Üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği ile Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplı Varil Susceptor, yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda kullanım için ideal seçimdir. Yüksek saflıkta SiC ile kaplanan bu grafit ürün, yarı iletken üretim uygulamalarında güvenilir ve tutarlı performans sağlayarak mükemmel koruma ve ısı dağılımı sağlar.
Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplı Barrel Susceptor, mükemmel termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri sayesinde yarı iletken levhalarda epiksiyal katman oluşumu için mükemmel bir seçimdir. Silisyum karbür kaplaması, en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile üstün koruma sağlar.
Semicorex'te müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplı Namlu Susceptörümüz fiyat avantajına sahip olup birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplı Namlu Susceptor Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplı Namlu Susceptor'un Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.