Yüksek erime noktası, oksidasyon direnci ve korozyon direnciyle Semicorex SiC Kaplamalı Namlu Süseptör, tek kristal büyütme uygulamalarında kullanım için mükemmel seçimdir. Silisyum karbür kaplaması olağanüstü düzlük ve ısı dağıtım özellikleri sunarak en zorlu yüksek sıcaklıktaki ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Semicorex SiC Kaplı Namlu Süseptör, özellikle LPE işlemleri ve diğer yarı iletken üretim uygulamaları için tasarlanmış, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış, en üst kalitede bir grafit üründür. Olağanüstü yoğunluğu ve termal iletkenliği, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda üstün ısı dağılımı ve koruma sağlar.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli SiC Kaplamalı Namlu Askısını sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
SiC Kaplı Namlu Süseptörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
SiC Kaplamalı Namlu Süseptörünün Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.