LPE için Semicorex SiC Kaplı Barrel Susceptor, olağanüstü düz yüzeyi ve yüksek kaliteli SiC kaplaması sayesinde tek kristal büyütme uygulamaları için mükemmel bir seçimdir. Yüksek erime noktası, oksidasyon direnci ve korozyon direnci, onu yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda kullanım için ideal bir seçim haline getirir.
Olağanüstü ısı dağılımına ve termal iletkenliğe sahip bir grafit sensör mü arıyorsunuz? LPE süreçlerinde ve diğer yarı iletken üretim uygulamalarında üstün performans için yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış, LPE için Semicorex SiC Kaplamalı Barrel Susceptor'dan başkasına bakmayın.
Semicorex'te müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. LPE için SiC Kaplı Namlu Susceptörümüz fiyat avantajına sahip olup birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
LPE için SiC Kaplı Namlu Susceptor Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
LPE için SiC Kaplı Namlu Susceptor Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabaka, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.