Yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için yüksek performanslı bir grafit tutucu arıyorsanız, Semicorex SiC Kaplamalı Grafit Barrel Susceptor ideal seçimdir. Olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri, onu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda güvenilir ve tutarlı performans için ilk tercih haline getirir.
Semicorex SiC Kaplamalı Grafit Barrel Susceptor, olağanüstü ısı dağılımı ve termal iletkenlik gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel bir seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu, en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlayarak üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlar.
SiC Kaplamalı Grafit Varil Susceptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
SiC Kaplı Grafit Namlu Susceptor'umuz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
SiC Kaplı Grafit Varil Susceptor Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
SiC Kaplı Grafit Varil Susceptor'un Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.