SiC Kaplamalı Grafit Namlu Süseptör

Yarı iletken üretim uygulamalarında kullanılmak üzere yüksek performanslı bir grafit tutucu arıyorsanız Semicorex SiC Kaplamalı Grafit Namlu Tutucu ideal seçimdir. Olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri, onu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda güvenilir ve tutarlı performans için ilk tercih haline getiriyor.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex SiC Kaplamalı Grafit Namlu Süseptör, olağanüstü ısı dağılımı ve termal iletkenlik gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel seçimdir. Yüksek saflıkta SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu, üstün koruma ve ısı dağıtım özellikleri sağlayarak en zorlu ortamlarda bile güvenilir ve tutarlı performans sağlar.

SiC Kaplamalı Grafit Namlu Suseptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.

SiC Kaplamalı Grafit Namlu Süseptörümüz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

SiC Kaplı Grafit Namlu Süseptörünün Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

SiC Kaplamalı Grafit Namlu Süseptörünün Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.

- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.

- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.