SiC kaplı Grafit MOCVD Süseptörleri

SiC kaplı grafit MOCVD tutucularGofret substratlarının tutulmasından ve ısıtılmasından sorumlu olan Metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) ekipmanında kullanılan temel bileşenlerdir. Üstün termal yönetimi, kimyasal direnci ve boyutsal stabilitesi ile SiC kaplı grafit MOCVD tutucular, yüksek kaliteli levha substrat epitaksisi için en uygun seçenek olarak kabul edilir.

Gofret üretiminde,MOCVDteknolojisi, gelişmiş yarı iletken cihazların imalatına hazırlık olarak, levha substratların yüzeyinde epitaksiyel katmanlar oluşturmak için kullanılır. Epitaksiyel katmanların büyümesi birçok faktörden etkilendiğinden, gofret substratları biriktirme için doğrudan MOCVD ekipmanına yerleştirilemez. SiC kaplı grafit MOCVD tutucular, gofret substratlarını tutmak ve ısıtmak için gereklidir ve epitaksiyel katmanların büyümesi için stabil termal koşullar yaratır. Bu nedenle SiC kaplı grafit MOCVD tutucuların performansı, ince film malzemelerinin tekdüzeliğini ve saflığını doğrudan belirler ve bu da gelişmiş yarı iletken cihazların üretimini etkiler.

Semicorex seçiyoryüksek saflıkta grafitSiC kaplı grafit MOCVD tutucuları için matris malzemesi olarak kullanılır ve daha sonra grafit matrisini eşit şekilde kaplar.silisyum karbürCVD teknolojisi ile kaplama. Geleneksel teknolojiyle karşılaştırıldığında CVD teknolojisi, silisyum karbür kaplama ile grafit matris arasındaki bağlanma gücünü önemli ölçüde artırarak daha güçlü yapışma özelliğine sahip daha yoğun bir kaplama elde edilmesini sağlar. Silisyum karbür kaplama, zorlu yüksek sıcaklıktaki aşındırıcı atmosfer altında bile yapısal bütünlüğünü ve kimyasal stabilitesini uzun süre koruyarak aşındırıcı gazlar ile grafit matris arasındaki doğrudan teması etkili bir şekilde önler. Bu, grafit matrisinin korozyonunu etkili bir şekilde önler ve grafit parçacıklarının levha alt katmanlarını ve epitaksiyel katmanları ayırmasını ve kirletmesini önleyerek yarı iletken cihaz imalatının temizliğini ve verimini garanti eder.

Semicorex'in SiC kaplı grafit MOCVD tutucularının avantajları

1. Mükemmel korozyon direnci

2. Yüksek ısı iletkenliği

3. Üstün termal stabilite

4. Düşük termal genleşme katsayısı

5. Olağanüstü termal şok direnci

6. Yüksek yüzey düzgünlüğü

7. Kalıcı servis ömrü