SiC kaplı gezegensel suseptörler

Semicorex SiC kaplı gezegensel suseptörler, Aixtron G2 ekipmanında yarı iletken epitaksiyel büyüme için tasarlanmış, levhaları güvenli bir şekilde destekleyebildikleri ve gezegensel hareket şeklinde dönebildikleri vazgeçilmez destekleyici bileşendir. Bu şekilde, levha yüzeyi boyunca hassas termal tekdüzelik ve eşit gaz dağılımı başarıyla elde edilebilir, bu da levhalar üzerinde üstün kalitede epitaksiyel katman birikmesiyle sonuçlanır.

Semicorex SiC kaplı planeter süseptörlerin avantajları

1. Çoklu gofret cep tasarımı

Semicorex SiC kaplıgezegensel suseptörlerHassas bir şekilde kontrol edilen boyutlara sahip birkaç gofret cebinin eşit dağılımına sahiptir. Bu gofret cepleri, epitaksiyel büyüme süreci sırasında gofret substratlarını sıkı bir şekilde tutabilmekte ve bu da, gofret substratlarının istenmeyen hareketinin neden olduğu epitaksiyel işlem değişikliklerini etkili bir şekilde en aza indirebilmektedir. Buna ek olarak, bu çoklu levha cep tasarımı, birden fazla levha alt katmanının tek bir işlem çalıştırmasında eş zamanlı olarak epitaksiyel birikime uğramasına olanak tanıyarak, epitaksiyel büyüme sürecinin genel verimliliğini büyük ölçüde artırır.

2. Optimize Edilmiş Gaz Akış Deliği Düzenlemesi

Semicorex, dikkatlice tasarlanmış bir dizi gaz akış kanalına sahiptir.SiC kaplamalıEpitaksiyel işlem boyunca levha yüzeyi boyunca gaz akış dinamiklerinin ve termal homojenliğin optimizasyonunu geliştiren gezegensel tutucular. Bu düşünceli tasarım, yüksek kaliteli ince filmler, tekdüze katman kalınlığı ve güvenilir genel cihaz performansı elde etmek için gerekli olan reaksiyon odası içindeki gaz akış hızı ve dağıtımı üzerinde doğru kontrol sağlar.

3. Ultra yüksek temizlik

Semicorex SiC kaplı planeter suseptörler, yarı iletken imalatının katı temizlik gereksinimlerini tam olarak karşılayan, ultra yüksek saflıkta malzemeler ve son derece düşük safsızlık seviyeleri ile üretilir. Epitaksiyel işlemlere özgü yüksek sıcaklık ve aşındırıcı koşullar altında bile metalik gaz çıkışının neden olduğu levha kirlenmesini etkili bir şekilde en aza indirirler.

4. Uzun ömürlü servis ömrü

Semicorex'in kalite kontrolü, titiz hammadde seçimimizle başlar. SiC kaplı gezegensel tutucular, yarı iletken dereceli grafit ve silisyum karbürden hassas bir şekilde üretilmiş olup, mükemmel yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci sunarak zorlu yüksek sıcaklık, son derece aşındırıcı epitaksiyel çalışma koşullarına mükemmel şekilde dayanmalarını sağlar. Bu mükemmel malzeme özellikleriyle, Semicorex SiC kaplı planeter suseptörler tutarlı performanslarını ve yapısal bütünlüklerini koruyabilir ve yüksek sıcaklık ve yüksek korozyon reaksiyon odalarındaki yüzey hasarlarını ve performans düşüşlerini önleyebilir, bu da SiC kaplı planeter suseptörlerin hizmet ömrünü büyük ölçüde uzatır.