MOCVD için SiC Kaplamalı Plaka Taşıyıcılar

MOCVD için Semicorex SiC Kaplamalı Plaka Taşıyıcıları, yarı iletken üretim sürecinde kullanılmak üzere tasarlanmış yüksek kaliteli bir taşıyıcıdır. Yüksek saflığı, mükemmel korozyon direnci ve hatta termal profili, onu yarı iletken üretim sürecinin taleplerine dayanabilecek bir taşıyıcı arayanlar için mükemmel bir seçim haline getiriyor.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD'ye yönelik SiC kaplamalı plaka taşıyıcılarımız yüksek saflığa sahiptir ve bu da onu, özellikleri açısından oldukça homojen ve tutarlı bir taşıyıcı arayanlar için mükemmel bir seçim haline getirir.
MOCVD'ye yönelik SiC kaplamalı plaka taşıyıcılarımız, grafit üzerine yüksek saflıkta silisyum karbür kaplamayla yapılmıştır; bu, onu 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda oksidasyona karşı oldukça dirençli kılar. Üretiminde kullanılan CVD kimyasal buhar biriktirme işlemi, yüksek saflık ve mükemmel korozyon direnci sağlar. Yoğun yüzeyi ve ince parçacıklarıyla korozyona karşı oldukça dayanıklıdır, bu da onu asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklı kılar. Yüksek sıcaklıktaki oksidasyon direnci, 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabilite sağlar.

MOCVD için SiC Kaplamalı Plaka Taşıyıcıların Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör Özellikleri

- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin