MOCVD için SiC Kaplama Grafit Substrat Gofret Taşıyıcılarını fabrikamızdan satın alacağınızdan emin olabilirsiniz. Semicorex'te, Çin'de SiC Kaplı Grafit Susceptor'un büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisiyiz. Ürünümüz iyi bir fiyat avantajına sahip olup Avrupa ve Amerika pazarlarının birçoğunu kapsamaktadır. Müşterilerimize, özel gereksinimlerini karşılayan yüksek kaliteli ürünler sunmaya çalışıyoruz. MOCVD için SiC Kaplama Grafit Substrat Gofret Taşıyıcımız, yarı iletken üretim süreçleri için yüksek performanslı bir taşıyıcı arayanlar için mükemmel bir seçimdir.
MOCVD için SiC Kaplama Grafit Substrat Gofret Taşıyıcı, yarı iletken üretim sürecinde çok önemli bir rol oynar. Ürünümüz zorlu ortamlarda bile son derece kararlıdır ve bu da onu yüksek kaliteli gofret üretimi için mükemmel bir seçim haline getirir.
MOCVD için SiC Kaplama Grafit Substrat Gofret Taşıyıcılarımızın özellikleri olağanüstü. Yoğun yüzeyi ve ince parçacıkları korozyon direncini artırarak asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklı hale getirir. Taşıyıcı, eşit bir termal profil sağlar ve en iyi laminer gaz akış modelini garanti ederek, herhangi bir kontaminasyonun veya safsızlığın gofretin içine yayılmasını önler.
MOCVD için SiC Kaplama Grafit Substrat Gofret Taşıyıcılarının Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptor Özellikleri
- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin