Silisyum Karbür Kaplı Grafit Namlu

Semicorex Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Namlu, yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel seçimdir. Olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri, onu LPE proseslerinde ve diğer yüksek sıcaklıktaki ortamlarda kullanım için ideal kılar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda Semicorex Silikon Karbür Kaplamalı Grafit Namlu, olağanüstü performans ve güvenilirlik açısından en iyi seçimdir. Yüksek kaliteli SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği, en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile üstün ısı dağılımı ve koruma sağlar.

Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Namlumuz, en iyi laminer gaz akış modelini garanti eden eşit bir termal profil sağlar. Her türlü kirliliğin veya yabancı maddelerin levhaya yayılmasını önleyerek onu temiz oda ortamlarında kullanım için ideal hale getirir. Semicorex, Çin'de SiC Kaplamalı Grafit Süseptörlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir ve ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir. Yarı iletken endüstrisinde uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Silisyum Karbür Kaplı Grafit Namlunun Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Namlunun Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.

- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.

- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.

- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.