Semicorex Silisyum Karbür Kaplı Grafit Kovan, yüksek ısı ve korozyon direnci gerektiren yarı iletken üretim uygulamaları için mükemmel bir seçimdir. Olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri, onu LPE proseslerinde ve diğer yüksek sıcaklık ortamlarında kullanım için ideal hale getirir.
Yarı iletken üretimi söz konusu olduğunda, olağanüstü performans ve güvenilirlik için Semicorex Silisyum Karbür Kaplı Grafit Kovan en iyi seçimdir. Yüksek kaliteli SiC kaplaması ve üstün yoğunluğu ve termal iletkenliği, en zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda bile üstün ısı dağılımı ve koruma sağlar.
Silisyum Karbür Kaplı Grafit Namlumuz, eşit bir termal profil sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini garanti eder. Herhangi bir kontaminasyonun veya safsızlığın gofretin içine yayılmasını önleyerek onu temiz oda ortamlarında kullanım için ideal hale getirir. Semicorex, Çin'de büyük ölçekli bir SiC Kaplı Grafit Susceptor üreticisi ve tedarikçisidir ve ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir. Yarı iletken endüstrisinde uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Silisyum Karbür Kaplı Grafit Namlu Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Silisyum Karbür Kaplı Grafit Namlunun Özellikleri
- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.