SiC kaplama, kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi yoluyla suseptör üzerinde ince bir tabakadır. Silisyum karbür malzeme, silikona göre, 10 kat daha fazla arıza elektrik alanı kuvveti, 3 kat bant aralığı dahil olmak üzere, malzemeye yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci ve termal iletkenlik sağlayan bir dizi avantaj sağlar.
Semicorex özelleştirilmiş hizmet sağlar, daha uzun süre dayanan bileşenlerle yenilik yapmanıza, çevrim sürelerini azaltmanıza ve verimi artırmanıza yardımcı olur.
SiC kaplamanın birçok benzersiz avantajı vardır
Yüksek Sıcaklık Dayanımı: CVD SiC kaplı suseptör, önemli bir termal bozulmaya uğramadan 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklara dayanabilir.
Kimyasal Direnç: Silisyum karbür kaplama, asitler, alkaliler ve organik solventler de dahil olmak üzere çok çeşitli kimyasallara karşı mükemmel direnç sağlar.
Aşınma Direnci: SiC kaplama, malzemeye mükemmel aşınma direnci sağlayarak onu yüksek aşınma ve yıpranma içeren uygulamalar için uygun hale getirir.
Isı İletkenliği: CVD SiC kaplama, malzemeye yüksek ısı iletkenliği sağlar ve bu da onu verimli ısı transferi gerektiren yüksek sıcaklık uygulamalarında kullanıma uygun hale getirir.
Yüksek Mukavemet ve Sertlik: Silisyum karbür kaplı askı malzemesi, malzemeye yüksek mukavemet ve sertlik kazandırarak onu yüksek mekanik mukavemet gerektiren uygulamalar için uygun hale getirir.
SiC kaplama çeşitli uygulamalarda kullanılır
LED Üretimi: CVD SiC kaplı askı, yüksek ısı iletkenliği ve kimyasal direnci nedeniyle mavi ve yeşil LED, UV LED ve derin UV LED dahil olmak üzere çeşitli LED türlerinin işlenmiş üretiminde kullanılmaktadır.
Mobil iletişim: CVD SiC kaplı suseptör, GaN-on-SiC epitaksiyel işlemini tamamlamak için HEMT'nin çok önemli bir parçasıdır.
Yarı İletken İşleme: CVD SiC kaplı suseptör, yarı iletken endüstrisinde levha işleme ve epitaksiyel büyüme dahil olmak üzere çeşitli uygulamalar için kullanılır.
SiC kaplı grafit bileşenler
Silisyum Karbür Kaplama (SiC) grafit ile yapılan kaplama, CVD yöntemiyle belirli yüksek yoğunluklu grafit derecelerine uygulanır, böylece yüksek sıcaklıktaki fırında, inert bir atmosferde 3000 °C'nin üzerinde, vakumda 2200°C'de çalışabilir. .
Malzemenin özel özellikleri ve düşük kütlesi, hızlı ısıtma oranlarına, eşit sıcaklık dağılımına ve kontrolde olağanüstü hassasiyete olanak tanır.
Semicorex SiC Kaplamanın malzeme verileri
Tipik özellikler |
Birimler |
Değerler |
Yapı |
|
FCC β fazı |
Oryantasyon |
Kesir (%) |
111 tercih edildi |
Yığın yoğunluğu |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termal genleşme 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Sonuç CVD SiC kaplı tutucu, bir tutucunun ve silisyum karbürün özelliklerini birleştiren kompozit bir malzemedir. Bu malzeme, yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci, yüksek termal iletkenlik, yüksek mukavemet ve sertlik gibi benzersiz özelliklere sahiptir. Bu özellikler onu yarı iletken işleme, kimyasal işleme, ısıl işlem, güneş pili üretimi ve LED üretimi dahil olmak üzere çeşitli yüksek sıcaklık uygulamaları için çekici bir malzeme haline getirmektedir.
Yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış yüksek kaliteli bir grafit süseptör arıyorsanız, Yarı İletken SiC Kaplamalı Semicorex Namlu Süseptör mükemmel seçimdir. Olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtım özellikleri, onu yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için ideal kılar.
Devamını okuTalep GönderÜstün yoğunluğu ve termal iletkenliği ile Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplamalı Namlu Süseptör, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda kullanım için ideal seçimdir. Yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış bu grafit ürün, mükemmel koruma ve ısı dağılımı sağlayarak yarı iletken üretim uygulamalarında güvenilir ve tutarlı performans sağlar.
Devamını okuTalep GönderGofret Epitaksiyel için Semicorex SiC Kaplamalı Namlu Susceptor, olağanüstü düz yüzeyi ve yüksek kaliteli SiC kaplaması sayesinde tek kristal büyütme uygulamaları için mükemmel seçimdir. Yüksek erime noktası, oksidasyon direnci ve korozyon direnci, onu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda kullanım için ideal bir seçim haline getirir.
Devamını okuTalep GönderSemicorex SiC Kaplamalı Epitaksiyel Reaktör Namlusu, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış, birinci sınıf bir grafit üründür. Mükemmel yoğunluğu ve termal iletkenliği, LPE proseslerinde kullanım için ideal bir seçim olmasını sağlar ve aşındırıcı ve yüksek sıcaklıktaki ortamlarda olağanüstü ısı dağıtımı ve koruma sağlar.
Devamını okuTalep GönderSemicorex Karbür Kaplamalı Reaktör Namlusu Süseptörü, özellikle LPE işlemleri için tasarlanmış, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış üstün kaliteli bir grafit ürünüdür. Mükemmel ısı ve korozyon direncine sahip bu ürün, yarı iletken üretim uygulamalarında kullanım için mükemmeldir.
Devamını okuTalep GönderSemicorex'in Epitaksiyel Reaktör Odası için SiC Kaplı Askı Namlusu, üstün ısı dağılımı ve termal iletkenlik özelliklerine sahip, yarı iletken üretim süreçleri için son derece güvenilir bir çözümdür. Ayrıca korozyona, oksidasyona ve yüksek sıcaklıklara karşı oldukça dayanıklıdır.
Devamını okuTalep Gönder