Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplama

Epitaksi ve MOCVD gibi levha işleme süreçleri söz konusu olduğunda Semicorex'in Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplaması en iyi seçimdir. Taşıyıcılarımız, ince SiC kristal kaplamamız sayesinde üstün ısı direnci, eşit termal homojenlik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex olarak yüksek kaliteli levha taşıma ekipmanlarının önemini anlıyoruz. Bu nedenle plazma aşındırma odalarına yönelik yüksek sıcaklık SiC kaplamamız, özellikle yüksek sıcaklık ve zorlu kimyasal temizleme ortamları için tasarlanmıştır. Taşıyıcılarımız eşit termal profiller ve laminer gaz akış modelleri sağlar ve kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önler.
Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplamamız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplama Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplamanın Özellikleri

- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın

Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir

Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.

Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.

Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.

- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin

- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin

- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin

Sıcak Etiketler: Plazma Aşındırma Odaları için Yüksek Sıcaklık SiC Kaplama, Çin, Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika, Özelleştirilmiş, Toplu, Gelişmiş, Dayanıklı