Semicorex'in SiC Kaplamalı ICP Bileşeni, epitaksi ve MOCVD gibi yüksek sıcaklıktaki levha işleme süreçleri için özel olarak tasarlanmıştır. İnce SiC kristal kaplamalı taşıyıcılarımız üstün ısı direnci, hatta termal homojenlik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.
Semicorex'in SiC Kaplamalı ICP Bileşeni, yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç gerektiren levha işleme süreçleri için en iyi seçimdir. Taşıyıcılarımız, ince SiC kristalimiz sayesinde eşit termal profiller ve laminer gaz akış modelleri sağlar ve kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önler. İnce SiC kristal kaplamalı taşıyıcılarımız üstün ısı direnci, hatta termal homojenlik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.
Semicorex olarak müşterilerimize yüksek kaliteli, uygun maliyetli ürünler sunmaya odaklanıyoruz. SiC Kaplamalı ICP Bileşenimiz fiyat avantajına sahip olup birçok Avrupa ve Amerika pazarına ihraç edilmektedir. Tutarlı kalitede ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı hedefliyoruz.
SiC Kaplamalı ICP Bileşenimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
SiC Kaplamalı ICP Bileşeninin Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
SiC Kaplamalı ICP Bileşeninin Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin