MOCVD Reaktörleri için Süseptörler

Semicorex'in MOCVD Reaktörleri için Süseptörleri, yarı iletken endüstrisinde silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi çeşitli uygulamalar için kullanılan yüksek kaliteli ürünlerdir. Ürünümüz dişli veya halka şeklinde mevcuttur ve yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci elde edecek şekilde tasarlanmıştır, bu da onu 1600°C'ye kadar sıcaklıklarda stabil hale getirir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD Reaktörlerine yönelik Duyargalarımız, yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle üretilir ve yüksek saflık sağlar. Ürünün yüzeyi yoğun, ince parçacıklı ve yüksek sertliğe sahip olduğundan asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı korozyona dayanıklıdır.
MOCVD Reaktörlerine yönelik Tutucularımız, tüm yüzeylerde kaplama sağlamak, soyulmayı önlemek ve en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek üzere tasarlanmıştır. Ürün, termal profilin düzgünlüğünü garanti eder ve işlem sırasında her türlü kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyerek yüksek kaliteli sonuçlar sağlar.
Semicorex olarak müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

MOCVD Reaktörleri için Süseptör Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Kaplamalı Grafit Süseptör Özellikleri

- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin