MOCVD Reaktörleri için Duyarlıları

Semicorex'in MOCVD Reaktörleri için Duyarlıları, yarı iletken endüstrisinde silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi çeşitli uygulamalar için kullanılan yüksek kaliteli ürünlerdir. Ürünümüz dişli veya halka şeklinde mevcuttur ve 1600°C'ye kadar sıcaklıklarda kararlı olmasını sağlayan yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci elde edecek şekilde tasarlanmıştır.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

MOCVD Reaktörleri için Duyarlılarımız, yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır ve yüksek saflık sağlar. Ürünün yüzeyi yoğundur, ince parçacıklara ve yüksek sertliğe sahiptir, bu da onu asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı korozyona dirençli hale getirir.
MOCVD Reaktörleri için Susceptor'larımız, tüm yüzeylerde kaplama sağlamak, soyulmayı önlemek ve en iyi laminar gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Ürün, termal profilin düzgünlüğünü garanti eder ve işlem sırasında herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyerek yüksek kaliteli sonuçlar sağlar.
Semicorex'te müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

MOCVD Reaktörleri için Duyarlıların Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

MOCVD için SiC Kaplı Grafit Susceptor Özellikleri

- Soyulmayı önleyin ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklık oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda kararlı
Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme ile yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti eder
- Herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önleyin