ICP Gravür Gofret Tutucu

Semicorex'in ICP aşındırma levha tutucusu, epitaksi ve MOCVD gibi yüksek sıcaklıkta levha işleme süreçleri için mükemmel bir çözümdür. 1600°C'ye kadar stabil, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direncine sahip taşıyıcılarımız, eşit termal profiller ve laminer gaz akış düzenleri sağlar ve kirlenme veya yabancı maddelerin yayılmasını önler.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Epitaksi ekipmanınız için güvenilir bir levha taşıyıcı tedarikçisi mi arıyorsunuz? Semicorex'ten başkasına bakmayın. ICP aşındırma plaka tutucumuz, özellikle yüksek sıcaklıkta, sert kimyasal temizleme ortamları için tasarlanmıştır. İnce SiC kristal kaplamalı taşıyıcılarımız üstün ısı direnci, hatta termal homojenlik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.
ICP Aşındırma Gofret Tutucumuz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde edecek şekilde tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
ICP Gravür Gofret Tutucumuz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

ICP Aşındırma Gofret Tutucunun Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300