SiC kaplama, kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi yoluyla suseptör üzerinde ince bir tabakadır. Silisyum karbür malzeme, silikona göre, 10 kat daha fazla arıza elektrik alanı kuvveti, 3 kat bant aralığı dahil olmak üzere, malzemeye yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci ve termal iletkenlik sağlayan bir dizi avantaj sağlar.
Semicorex özelleştirilmiş hizmet sağlar, daha uzun süre dayanan bileşenlerle yenilik yapmanıza, çevrim sürelerini azaltmanıza ve verimi artırmanıza yardımcı olur.
SiC kaplamanın birçok benzersiz avantajı vardır
Yüksek Sıcaklık Dayanımı: CVD SiC kaplı suseptör, önemli bir termal bozulmaya uğramadan 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklara dayanabilir.
Kimyasal Direnç: Silisyum karbür kaplama, asitler, alkaliler ve organik solventler de dahil olmak üzere çok çeşitli kimyasallara karşı mükemmel direnç sağlar.
Aşınma Direnci: SiC kaplama, malzemeye mükemmel aşınma direnci sağlayarak onu yüksek aşınma ve yıpranma içeren uygulamalar için uygun hale getirir.
Isı İletkenliği: CVD SiC kaplama, malzemeye yüksek ısı iletkenliği sağlar ve bu da onu verimli ısı transferi gerektiren yüksek sıcaklık uygulamalarında kullanıma uygun hale getirir.
Yüksek Mukavemet ve Sertlik: Silisyum karbür kaplı askı malzemesi, malzemeye yüksek mukavemet ve sertlik kazandırarak onu yüksek mekanik mukavemet gerektiren uygulamalar için uygun hale getirir.
SiC kaplama çeşitli uygulamalarda kullanılır
LED Üretimi: CVD SiC kaplı askı, yüksek ısı iletkenliği ve kimyasal direnci nedeniyle mavi ve yeşil LED, UV LED ve derin UV LED dahil olmak üzere çeşitli LED türlerinin işlenmiş üretiminde kullanılmaktadır.
Mobil iletişim: CVD SiC kaplı suseptör, GaN-on-SiC epitaksiyel işlemini tamamlamak için HEMT'nin çok önemli bir parçasıdır.
Yarı İletken İşleme: CVD SiC kaplı suseptör, yarı iletken endüstrisinde levha işleme ve epitaksiyel büyüme dahil olmak üzere çeşitli uygulamalar için kullanılır.
SiC kaplı grafit bileşenler
Silisyum Karbür Kaplama (SiC) grafit ile yapılan kaplama, CVD yöntemiyle belirli yüksek yoğunluklu grafit derecelerine uygulanır, böylece yüksek sıcaklıktaki fırında, inert bir atmosferde 3000 °C'nin üzerinde, vakumda 2200°C'de çalışabilir. .
Malzemenin özel özellikleri ve düşük kütlesi, hızlı ısıtma oranlarına, eşit sıcaklık dağılımına ve kontrolde olağanüstü hassasiyete olanak tanır.
Semicorex SiC Kaplamanın malzeme verileri
Tipik özellikler |
Birimler |
Değerler |
Yapı |
|
FCC β fazı |
Oryantasyon |
Kesir (%) |
111 tercih edildi |
Yığın yoğunluğu |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termal genleşme 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Sonuç CVD SiC kaplı tutucu, bir tutucunun ve silisyum karbürün özelliklerini birleştiren kompozit bir malzemedir. Bu malzeme, yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci, yüksek termal iletkenlik, yüksek mukavemet ve sertlik gibi benzersiz özelliklere sahiptir. Bu özellikler onu yarı iletken işleme, kimyasal işleme, ısıl işlem, güneş pili üretimi ve LED üretimi dahil olmak üzere çeşitli yüksek sıcaklık uygulamaları için çekici bir malzeme haline getirmektedir.
Semicorex'ten SIC epitaksiyal modülü, SIC epitaksiyal büyümesinde kritik bir bileşen olan dayanıklılık, saflık ve hassas mühendisliği birleştirir. Kaplamalı grafit çözümlerinde eşsiz kalite ve zorlu ortamlarda uzun vadeli performans için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex Üst Yarım Ay, epitaksiyal reaktörlerde kullanılmak üzere tasarlanmış yarı dairesel SIC kaplı grafit gofret suyunudur. Uzun ömürlü performans ve üstün gofret kalitesi sağlayan endüstri lideri malzeme saflığı, hassas işleme ve düzgün SIC kaplama için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex SIC kaplı gofret taşıyıcıları, yüksek sıcaklıkta yarı iletken işlemler sırasında optimal gofret desteği için tasarlanmış CVD silikon karbür ile kaplanmış yüksek saflıkta grafit duyuculardır. Eşsiz kaplama kalitesi, hassas üretim ve dünya çapında önde gelen yarı iletken FAB'lerin güvendiği kanıtlanmış güvenilirlik için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex sic kaplı gofret duyucuları, basınçsız koşullar altında ultra ince film birikimi için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı taşıyıcıdır. Gelişmiş malzeme mühendisliği, hassas gözeneklilik kontrolü ve sağlam SIC kaplama teknolojisi ile Semicorex, yeni nesil yarı iletken üretiminin gelişen ihtiyaçlarını karşılamak için endüstri lideri güvenilirlik ve özelleştirme sağlar.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex 8 inç gofretli halkalar, agresif termal ve kimyasal ortamlarda hassas gofret fiksasyonu ve olağanüstü performans sağlamak için tasarlanmıştır. Semicorex, gelişmiş yarı iletken işlemenin titiz taleplerini karşılamak için uygulamaya özgü mühendislik, sıkı boyutsal kontrol ve tutarlı SIC kaplama kalitesi sunar.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex RTP SIC kaplama plakaları, hızlı termal işleme ortamlarında kullanılmak üzere tasarlanmış yüksek performanslı gofret taşıyıcılarıdır. Önde gelen yarı iletken üreticiler tarafından güvenilen Semicorex, titiz kalite standartları ve hassas üretim ile desteklenen üstün termal stabilite, dayanıklılık ve kontaminasyon kontrolü sunar.
Devamını okuTalep Gönder