Aşındırma için Semicorex poly-Si dış halkalar, poli-silikon malzemelerden yapılmış hassas işlenmiş halka parçalarıdır. Gelişmiş dağlama ekipmanının elektrot sistemleri için özel olarak tasarlanmış olan dağlama için Semicorex poly-Si dış halkalar, dağlama işleminin stabilitesini etkili bir şekilde sağlayabilir. Semicorex'i seçmek, levha verimini ve operasyonel verimliliği artırabilecek dağlama için yüksek kaliteli poly-Si dış halkaları elde edeceğiniz anlamına gelir.
Tipik olarak etrafına konumlandırılır.duş başlığıPoly-Si dış halka, egzoz halkası ile duş başlığı arasındaki bağlantı parçası görevi görür. İle işbirliği içinde çalışır.elektrostatik ayna, Si duş başlığı, Si odak halkası, Si egzoz halkası ve Si koruma halkası, yüksek hassasiyetli gravür işlemi için istikrarlı ve güvenilir bir işlem ortamı yaratır.
Dağlama için Semicorex poly-Si dış halkalar, aşağıdaki mükemmel özellik performansını sunacak şekilde yüksek kaliteli polisilikondan hassas bir şekilde üretilmiştir.
1.Yüksek temizlik ve düşük parçacık içeriği
2. Üstün yüksek sıcaklık dayanımı ve yüksek termal şok direnci
3. Güvenilir korozyon direnci
4. Olağanüstü elektriksel performans ve yüksek elektriksel iletkenlik bütünlüğü
Elektrot topraklaması ve koruması için kullanılan dağlama için Semicorex poly-Si dış halkalar, statik birikimin yanı sıra ark hasarını da önleyebilir ve elektrot sisteminin kararlı çalışmasını sağlayarak gelişmiş 3D NAND üretimi için proses taleplerini mükemmel şekilde karşılayabilir.
Dağlama için Semicorex poly-Si dış halkalar, egzoz halkasını ve duş başlığını bağlayan temel bileşenler olarak hizmet eder. Her iki parçaya da güvenilir mekanik destek sağlarlar ve onları uygun yerde sabit bir şekilde konumlandırırlar. Ek olarak, aşındırma için Semicorex poly-Si dış halkaların kullanılması, aşındırma odasındaki plazma erozyonunu önleyebilir, bu da aşındırma işleminin stabil bir şekilde yürütülmesini etkili bir şekilde sağlar.
Aşındırma için Semicorex poly-Si dış halkalar, düşük yabancı madde içeriğine ve olağanüstü korozyon direncine sahip olup, kazınmış yan ürün kirliliğinin neden olduğu levha kusurlarını büyük ölçüde azaltan ve yarı iletken üretiminde yüksek verim oranını önemli ölçüde garanti eden silikon levhaların imalatıyla mükemmel uyumluluk sağlar.