Silikon Kavisli Elektrotlar

Gelişmiş aşındırma ekipmanı sırasında, silikon kavisli elektrot genellikle aşındırma odasının üstüne, yarı iletken levhaya bakacak şekilde monte edilir. Silikon kavisli elektrot tipik olarak yüksek hassasiyetli gravür için en uygun çalışma koşullarını sağlamak üzere elektrostatik ayna, Si odak halkası, Si kenar halkası, Si egzoz halkası ve Si koruyucu halka ile birlikte çalışır.

Semicorex silikon kavisli elektrotların işlevleri

1. Karmaşık 3D yapı aşındırmayla uyumlu

Olağanüstü 3D elektrik alan kontrol kabiliyetine sahip Semicorexsilikon kavisli elektrotlarkarmaşık yapıların geometrik özelliklerine mükemmel şekilde uyum sağlayabilir. Özel kavisli tasarım, hassas plazma kontrolü ve optimize edilmiş enerji dağıtımı sağlar; bu, 3D yapı gravürünün en boy oranını ve yan duvar dikeyliğini önemli ölçüde etkiler ve gelişmiş paketleme işlemlerinin ve 3D IC entegrasyonunun üretim hattı gereksinimlerini tam olarak karşılar.

2. Aşındırma Gazı Dağıtımının Hassas Kontrolü

Semicorex silikon kavisli elektrotlar, aşındırma gazının aşındırma odasına girmesi için yüzeylerinde eşit şekilde dağıtılmış çok sayıda mikro deliğe sahiptir. Semicorex silikon kavisli elektrotlar, aşındırma gazı üzerinde hassas kontrol sağlayabilir ve aşındırma odasında eşit şekilde dağıtılmasına izin vererek, eşit olmayan gaz dağılımının neden olduğu proses değişikliklerini en aza indirebilir.

Semicorex silikon kavisli elektrotların avantajları

1. Ultra yüksek saflık

Semicorex silikon kavisli elektrotlar ultra yüksek saflıkta tek kristalden yapılmıştırsilikon%99,9999999'un üzerinde saflık düzeyine sahip olup, plazma erozyonuna karşı üstün direnç sunar. Bu yüksek standartlı malzeme seçimi, aşındırma yan ürünlerinden kaynaklanan istenmeyen kirlenmeyi etkili bir şekilde önleyebilir ve aynı zamanda silikon kavisli elektrotların hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatabilir.

2. Mükemmel elektriksel özellikler

MCZ'de yetiştirilen tek kristalli silikondan üretilen Semicorex silikon kavisli elektrotlar, üstün direnç eşitliği sergiler: <%5 ve seçilebilir geniş bir direnç aralığı: düşük çözünürlük. (<0,02), orta çözünürlük. (1–4) ve yüksek çözünürlük. (70–90).

3. Hassas işleme doğruluğu

Semicorex silikon kavisli elektrotlar, yüksek hassasiyetli mekanik işleme sayesinde tutarlı gözenek boyutu ve düzgün delik dağılımı elde eder. Yüzeyleri hassas bir şekilde parlatılmış ve taşlanmıştır: cilalanmış (Ra < 0,1 μm) ve taşlanmıştır (Ra < 1,6 μm), genel işleme hassasiyeti 0,03 mm dahilinde kontrol edilir.